至興精機內部稽核為獨立單位，依組織圖直接隸屬董事會；除在董事會例行會議報告外，並每月或必要時向董事及審計委員報告。
內部稽核規程明訂內部稽核覆核公司作業程序的內部控制，並報告該等控制之設計及例行實務作業是否適當及其效果和效率；其範圍包涵公司所有作業及其子公司。
稽核工作主要是依據董事會通過的稽核計畫執行，該稽核計畫乃依據已辨識之風險擬訂，另視需要執行專案稽核或覆核。綜合上述一般性稽核及專案的執行提供管理階層內部控制功能運作狀況，並及時提供管理階層以便其了解已存在或潛在缺失的另外管道。
內部稽核覆核各單位所執行的自行檢查，包括檢查該作業是否執行並覆核文件以確保執行的品質，並綜合自行檢查結果，報告總經理、董事長審計委員會及董事會。
本公司內部稽核單位配置專任稽核人員，主管及其所屬稽核人員共計2人。
●稽核人員任免、考評揭露
本公司訂定公司治理守則第3條規定： ……… 本公司內部稽核人員之任免、考評、薪資報酬應提報董事長或指定董事核定。
●請由此點選，公司治理守則辦法內容己揭露於本公司重要公司內規網頁專區中。